1

（1）硅（Si）和化合物半導(dǎo)體的實(shí)時(shí)分析器（RTA）；

（2）薄膜成型的熱源

（3）離子注入后的激活器

（4）硅化物成型的熱源。

2

（1）陶瓷基片層壓板的退火爐

（2）玻璃基片的退火爐

（3）陶瓷拉伸、彎曲試驗(yàn)的退火爐

（4）超導(dǎo)陶瓷的退火爐

（5）陶瓷加熱、循環(huán)加熱試驗(yàn)的退火爐

3

（1）薄鋼板加熱過(guò)程分析爐；

（2）焊接分析爐

（3）高溫（1000℃以下）真空加熱試驗(yàn)爐

（4）大氣條件熔化過(guò)程分析爐；

（5）高壓下

4、復(fù)合材料

（1）絕熱性評(píng)估測(cè)試用爐

（2）無(wú)機(jī)化合物循環(huán)加熱試驗(yàn)爐

5、其他

（1）高溫條件下

（2）分段控制爐

（3）溫度梯度爐

（4）析出氣體分析爐。